Интернет конференция по проблемам теории и практики управленияНазвание: Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов
Автор: Марк Михайлович Гоник
Соавторы:
Гоник М.М. , Боевкин В.И.
Аннотация:
Рассматривается многосвязная система автоматического управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов, позволившая обеспечить регулирование температуры вокруг растущего кристалла с точностью 0.05-0.1 градусов на протяжении всего ростового цикла. Проектирование системы управления основано на предварительном исследовании и выборе информационной структуры многосвязной системы с целью уменьшения взаимного влияния каналов в объекте управления и изменения его параметров. Исследование системы и определение стратегии управления проводится на базе динамической численной двумерной модели тепломассопереноса при кристаллизации. Управление многомерным объектом осуществляется с помощью сепаратных ПИД-регуляторов.
Ключевые слова:
управление температурным режимом, многосвязная система, исследование информационной структуры.
Автор: Марк Михайлович Гоник
Соавторы:
Гоник М.М. , Боевкин В.И.
Аннотация:
Рассматривается многосвязная система автоматического управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов, позволившая обеспечить регулирование температуры вокруг растущего кристалла с точностью 0.05-0.1 градусов на протяжении всего ростового цикла. Проектирование системы управления основано на предварительном исследовании и выборе информационной структуры многосвязной системы с целью уменьшения взаимного влияния каналов в объекте управления и изменения его параметров. Исследование системы и определение стратегии управления проводится на базе динамической численной двумерной модели тепломассопереноса при кристаллизации. Управление многомерным объектом осуществляется с помощью сепаратных ПИД-регуляторов.
Ключевые слова:
управление температурным режимом, многосвязная система, исследование информационной структуры.