Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов

Автор(ы): Гоник М. М., Боевкин В. И.

Название статьи: Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов

Выпуск: 28

Рубрика: Управление техническими системами и технологическими процессами

Год: 2010

Библиография: Гоник М. М., Боевкин В. И. Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов / Управление большими системами. Выпуск 28. М.: ИПУ РАН, 2010. С.211-229.

Дата опубликования: 31.03.2010

Ключевые слова: управление температурным режимом, многосвязная система, исследование информационной структуры

Аннотация: Рассматривается многосвязная система автоматического управления температурным режимом в установках выращи-вания кристаллов, позволившая обеспечить регулирование температуры вокруг растущего кристалла с точностью 0,05–0,1 градусов на протяжении всего ростового цикла. Проектирование системы управления основано на предварительном исследовании и выборе информационной структуры многосвязной системы с целью уменьшения взаимного влияния каналов в объекте управления и изменения его параметров в процессе роста кристалла. Исследование системы и определение стратегии управления проводится на базе динамической численной двумерной модели тепломассопереноса при кристаллизации. Управление многомерным объектом осуществляется с помощью сепаратных ПИД-регуляторов.

Author(s): Gonik M. M., Boevkin V. I.

Article title: Increasing the control accuracy of temperature condition in crystal growth plant

Issue: 28

Year: 2010

Keywords: temperature condition control, multidimensional (MIMO) system, investigation of information structure

Abstract: We consider a multidimensional (MIMO) temperature control system for the crystal growth plant. The control system regulates the temperature around the growing crystal with accuracy of 0.05-0.1 oC during the whole growth process. Design of the control system is based on the preliminary investigation and choice of the information structure of MIMO system to decrease plant parameters changes and channels interconnection during the crystal growth. The analysis of the system and the solution of the control problem are performed with the aid of the dynamic computational 2D model of heat and mass transfer in the process of crystallization. Separated PID regulators are used for MIMO plant control.

в формате PDF
Обсудить статью в Интернет-конференции по проблемам управления

Просмотров: 6238; загрузок: 2684, за месяц: 11.

Назад